COMSOL多物理场仿真——金刚石的激光烧蚀

原创已于 2026-01-27 17:36:12 修改 · 1.1k 阅读

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于 2026-01-21 18:00:18 首次发布

固体材料加热时，温度会上升，最终发生相变。这一过程涉及转化为液相再转化为气相，或直接转化为气相。由于我们的目的是要去除材料，因此仅考虑直接转化为气相的材料。

让我们进一步假设这样的情况，材料加热时表面的最高温度上升，同时内部虽然受热，但温度未高到使固体直接转化成气相。因此，我们只讨论升华发生在材料表面的情况。同时还可以假设当材料转化为气相后，就不再吸收大量的热。当周围有其他气流将蒸发的材料携带走时，这个假设很合理。将材料表面加热到气态并迅速移除固体周围气体的过程叫烧蚀。

要发生烧蚀，材料表面必须吸收大量热通量。在此类热源中，最实用的例子之一便是激光。激光烧蚀技术采用高能脉冲激光（波长范围覆盖紫外至红外波段）轰击固体样品表面，使表层材料熔融、蒸发形成气溶胶。产生的纳米级微粒在氩气或氦气载流作用下直接进入ICP等离子体，经高温电离形成离子流，最终通过质谱仪检测元素组成。此方法已广泛用于各行业中，包括激光加工、外科手术和激光雕刻，以及其他应用。

当然，热源未必是激光。事实上，烧蚀热屏蔽一直用于协助飞行器承受重返大气层时产生的高热载荷。

模型定义

（1）模型选择二维轴对称，长度单位cm；

（2）在“几何”中选择“矩形”，宽为5，高为1，构建对象；

（3）在“几何”中选择“点”，位置为（1,1），构建对象，再与矩形形成联合体；

（4）在“几何”中的“虚拟操作”中选择“网格控制顶点”，选择我们上面的点，全部构建；

自定义材料

由于材料为金刚石，金刚石的导热系数为2500 [W/(m*k)]，密度为3510 [kg/m^3]，恒压热容为516 [J/(kg*K)]，升华热为59500 [kJ/kg]。

（1）在“材料”中构建一个“空材料”，再在“基本”里添加金刚石的对应属性；

（2）在“全局定义”里的“参数 1”中，添加金刚石的升华热和烧蚀温度，后面烧蚀需要这些变量；

激光设置

（1）在“全局定义”里的“参数 1”中，添加激光的入射光斑半径和入射能量密度；

（2）在“定义”里的“变量 1”中，添加激光的入射高斯分布， $E_{in}=P_{in}\cdot \exp ^{\frac{-2r^2}{r_{0}^{2}}}$ ；

固体传热物理场配置

（1）添加“固体传热”物理场；

（2）添加“边界热源”，在“边界热源”中选择上表面，在“热源”栏中输入“E_in”；

（3）在“组件”的“定义”中添加“斜坡”函数；

（4）针对烧蚀建模引入的热边界条件是一个烧蚀热通量条件，其形式为：

$q_{a}=h_{a}(T_{a}-T)$

其中， $q_{a}$ 表示材料烧蚀吸收的热通量， $T_{a}$ 表示烧蚀温度， $h_{a}$ 表示与温度相关的传热系数， $T< T_{a}$ 时为零， $T> T_{a}$ 时呈线性增长。

在“固体传热”中添加“热通量”，边界选择上表面，在“热通量”栏的通量类型改为“对流热通量”，在传热系数中填入“h_a((T-T_ablate)/1[K])”，外部温度中填入“T_ablate”；

变形几何物理场配置

（1）在物理场中添加“变形几何”；

（2）点击“变形几何”，将“网格变形设置改为“超弹性”，超弹性平滑适用于大变形、挤压、旋转等导致域拓扑发生显著变化的复杂运动，而拉普拉斯平滑适用于已知路径的平移运动、小变形的流固耦合、对计算速度要求高的模型；

（3）在“变形几何”中添加“自由变形”，“域选择”点击整个矩形；

（4）在“变形几何”中添加“指定网格位移”，边界选择对称轴，取消勾选Z方向上的位移；

（5）在“变形几何”中添加“指定法向网格速度”，边界选择上表面，在“法向网格速度”中输入“ht.hf1.q0/(mat1.def.rho*H_s)”，mat1.def.rho是自定义材料（金刚石）的密度，H_s上面提到过是金刚石的升华热，ht.hf1.q0是固体传热的烧蚀热通量，这里就完成了“固体传热”和“变形几何”两个物理场的耦合；

网格划分

（1）点击“网格”，将“序列类型”改为“用户控制网络”；

（2）将“大小”里的单元大小改为“更细”；

（3）在“网格”中添加“边”，选择上表面中靠近对称轴的线段（即激光作用位置）；

（4）在“边”中添加“大小”，单元大小选择“定制”，单元大小参数勾选“最大单元大小”设置为0.002cm，再点击“网格”，最后点击“全部构建”实现模型的网格划分；

研究结果

（1）添加研究，选择“一般研究”里的“瞬态”；

（2）在“瞬态”里更改输出步长为“range(0， 0.01， 0.1)”，意思是在[0,0.1]中，每隔0.01取一个值，然后点击“计算”，计算结果；

（3）计算完成后，在“结果”的“数据集”中添加“二维旋转”，将二维旋转的数据集设定为我们计算求出来的解“研究 1/解 1”，然后设置旋转层，最后点击“绘制”，生成三维视图；

（4）在“结果”中添加“三维绘图组”，在“三维视图组”中添加“体”，然后点击“绘制”，便可生成三维温度烧蚀变形视图；

金刚石的激光烧蚀过程

二维激光烧蚀过程

三维激光烧蚀

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