SECS协议基础知识

最新推荐文章于 2026-05-08 10:59:25 发布
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OK在被老师甩了三个压缩包的资料之后，终于明白了SECS是什么
然而Linux开发似乎遥遥无期…
先整理一下看的资料～冲就完事！

协议框架

SECS（SEMI Equipment Communication standard）是由SEMI开发的半导体设备通讯标准
它分为物理部分和逻辑部分

在这里插入图片描述
在这里插入图片描述

物理部分：SECS-I（用于RS232接口）、HSMS（TCP/IP接口）
逻辑部分：SECS-II、GEM

物理部分主要定义了电气规格、传输速度、交握码等物理信息
逻辑部分规范了传送资料的标准结构（解析SECS-I，便于阅读）

SECS-I的实现

交握码：当机台或主机要开始传送SECS Message前先发送一个ENQ告知对方要传送资料（SECS Message）过去，等到对方回应一个EOT时才能传送资料
而待资料收集后则比对Checksum是否相等，若相符则发出ACK告知对方；若不相等则发出NAK告知对方再传送一次

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