面板厂 MES 常用词释义

原创已于 2026-04-14 16:58:50 修改 · 882 阅读

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于 2025-09-29 10:50:24 首次发布

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好的，这是一份面板厂（液晶/OLED显示面板制造工厂）MES系统中常用术语的详细释义。MES作为制造执行的“大脑”，其术语贯穿了整个生产流程。

一、核心生产流程相关

Lot / Batch（批次/批）
- 释义：生产管理的基本单位。将一定数量的基板（如玻璃）作为一个整体进行追踪和管理。一个Lot内的所有产品共享相同的工艺路径和加工历史。
- 备注：跟踪到每一片玻璃是不现实的，所以按批管理是行业标准。
FOUP / Cassette（前开式晶圆传送盒/料盒）
- 释义：承载和运输Lot的容器。在自动化产线中，AGV/RGV搬运的是整个FOUP，而不是单片玻璃。
Recipe（工艺配方/配方）
- 释义：设备执行加工作业的一套指令和参数的集合。例如，在CVD（化学气相沉积）设备中，配方会规定气体流量、温度、压力、时间等。
- 备注： MES负责向设备下发正确的配方，是保证工艺一致性的关键。
Route（工艺路径/流程）
- 释义：一个产品从投料到产出所需要经过的所有工序步骤的有序集合。例如：Array -> CF -> Cell -> Module。
Operation/Step（工序/步骤）
- 释义：工艺路径中的最小单位。指在单一设备或工作台上完成的一次加工动作。例如：“清洗”、“曝光”、“显影”、“蚀刻”等。
WIP（在制品）
- 释义：指所有已经投料但尚未完成全部工序、不能作为成品入库的产品。
- 备注： MES的核心功能就是追踪和管理WIP的位置、状态和数量。
Hold/Release（拦截/释放）
- 释义：对某个Lot施加的特殊控制状态。
- Hold：因质量问题、设备异常、等待指令等原因，暂停该Lot的流转，使其不能被加工或移出。
- Release：解除拦截状态，允许Lot继续流转。
Rework（返工/重工）
- 释义：对检测出有缺陷但可修复的产品，将其送回之前的特定工序进行重新加工的过程。MES需要记录返工历史和次数。
Scrap（报废）
- 释义：判定某个Lot或单片产品为不可修复的废品。MES会将其移出正常生产流程，并记录报废原因、位置和责任人。
Split/Merge（分批/合批）
- Split：将一个Lot拆分成两个或多个新的Lot。通常因为产能平衡、实验取样或不良品分离。
- Merge：将两个或多个Lot合并成一个Lot。相对少见，需满足严格的工艺条件。

二、设备与自动化相关

EQP（设备）
- 释义：生产线上所有机台的统称。
Equipment Status（设备状态）
- 释义： MES实时监控的设备状态，常见状态包括：
  - Idle（闲置）：就绪，等待任务。
  - Run（运行）：正在加工产品。
  - Down（停机）：因故障无法使用。
  - Engineering（工程状态）：设备处于维护、调试或实验状态。
  - Setup（设置）：为下一个生产任务进行准备（如更换配方、部件）。
EAP（设备自动化程序）
- 释义：连接MES和设备层的中间件软件。负责MES与设备之间的指令下发和数据采集，是实现自动化的关键。
PMC（搬运控制系统）
- 释义：控制天车（OHT）、轨道车（RGV）、自动导引车（AGV）等自动化物料搬运系统的软件。MES与PMC交互，下达搬运指令。
Port（端口）
- 释义：设备上用于Load/Unload（装载/卸载）FOUP的位置。常见的有：
  - Load Port：上料口。
  - Buffer Port：设备内缓冲区。

三、物料与追溯相关

Material（物料）
- 释义：泛指所有生产用料，包括主料（如玻璃基板、彩色滤光片、偏光片、驱动IC等）和辅料（如化学品、特气、靶材等）。
SVID（服务标识符）
- 释义：在SECS/GEM通信协议中，用于唯一标识一个需要采集的数据项。例如，设备温度、压力、工艺时间等都可以分配一个SVID。MES通过EAP采集SVID数据。
Traceability（追溯）
- 释义： MES的核心功能之一。通过记录每个Lot的完整生产履历，实现：
  - 正向追溯：从原材料/批次，追查到所有用了该物料的产品。
  - 反向追溯：从最终产品，反推其使用了哪些原材料、经过哪些设备加工、以及所有的工艺参数和检测数据。
ALIAS（别名）
- 释义：为了方便操作员识别，为复杂的设备ID、物料ID、Recipe ID等设置的易于理解的名称。例如，设备ID可能是“EQP-AR-PH-001”，而其别名可以是“Array光刻机01”。

四、质量管理与数据分析相关

ADC（自动化缺陷分类）
- 释义：通过视觉检测设备和AI算法，自动识别并分类产品表面的缺陷（如划伤、颗粒、亮点等）。
Defect Code（缺陷代码）
- 释义：用于标准化描述产品缺陷类型的代码。MES中会用缺陷代码来记录不良现象，便于统计和分析。
SPC（统计过程控制）
- 释义：通过统计方法（如控制图）对生产过程进行分析和监控，以评估过程的稳定性并预警异常趋势。MES会集成SPC工具。
OCAP（异常处理作业指导书）
- 释义：当SPC或检测发现异常时，系统自动调出的标准处理流程文件，指导工程师或操作员按步骤进行排查和处置。
Yield（良率/收益率）
- 释义：衡量生产线优劣的核心指标。
  - Line Yield（直通良率）：投入数量与最终合格数量的比率。
  - Cp/Cpk（过程能力指数）：衡量过程稳定性和满足规格要求的能力。
FDC（故障侦测与分类）
- 释义：通过实时分析设备的工艺参数（如温度、功率、真空度等），在产品质量问题发生前，提前发现设备的微小异常或漂移，并进行预警和分类。
eBR（电子批记录）
- 释义：替代传统纸质批记录。MES自动收集并整合一个Lot在整个生命周期中的所有信息，包括加工记录、工艺参数、检测数据、物料消耗、设备人员信息等，形成完整的电子化档案。